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產(chǎn)品名稱： GV400愛德華干泵維修簡要描述： 東莞鑰大真空設(shè)備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務(wù)。 維修流程完善，長期備有原廠維修配件,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)！我們將按GV400愛德華干泵維修流程，為客戶保證維修之設(shè)備的質(zhì)量更新時間： 2024-10-28瀏覽次數(shù)： 3382
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。東莞鑰大真空設(shè)備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務(wù)
GV400愛德華干泵維修流程
（1）擦凈零件，疏通油孔 。
（2）把旋片及彈簧裝入高級轉(zhuǎn)子槽內(nèi)后，把高級轉(zhuǎn)子裝入泵身內(nèi)，裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等，用手旋轉(zhuǎn)，應(yīng)無滯阻和明顯輕重。
（3）低級轉(zhuǎn)子裝配同上。
（4）裝止回閥葉輪部件，應(yīng)使止回閥平面對準(zhǔn)進(jìn)油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，油孔應(yīng)時開時閉，調(diào)整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。
（5）裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。
（6）把泵部件、鍵、軸套、電機裝在支座上。
（7）裝油箱。
（8）插入進(jìn)氣咀、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板，螺釘緊固。
注意：
（1）裝配時，各摩擦面應(yīng)涂上清潔的真空泵油。
（2）記住零件的原裝配位置，可減少跑合時間。
（3）緊固體應(yīng)無松動，緊固時應(yīng)均勻施力。
（4）對磨損零件應(yīng)檢查，并酌情修理或調(diào)換。
（5）總裝結(jié)束后，可以從泵進(jìn)氣口加入少量泵油，然后用手轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動時，手的感覺應(yīng)是阻力均勻，無明顯阻滯現(xiàn)象。
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